越來越多的朋友對(duì)氣體質(zhì)量流量計(jì)﹑質(zhì)量流量控制器產(chǎn)生了濃厚的興趣。為了幫助朋友們更好地選購和使用此類產(chǎn)品，我們對(duì)曾經(jīng)遇到過的有關(guān)技術(shù)和工藝方面的疑問統(tǒng)一整理回答，供朋友們參考。

1.  什么是質(zhì)量流量計(jì)？什么是質(zhì)量流量控制器？ 

質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種精確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。

2. 質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理

3. 怎么理解質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的流量單位？

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù), 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國(guó)內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國(guó)際單位（Kg/min）, 但是它符合國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的詳細(xì)情況見:“SEMI E12-96”, 標(biāo)準(zhǔn)文件的局部

4.  什么情況下用質(zhì)量流量計(jì), 什么情況下用質(zhì)量流量控制器 ? 

一般而言，僅對(duì)流量進(jìn)行計(jì)量或監(jiān)測(cè)時(shí)，用質(zhì)量流量計(jì)；需要對(duì)流量進(jìn)行控制時(shí)，用質(zhì)量流量控制器。某些測(cè)量場(chǎng)合，用二者皆可，如對(duì)毛細(xì)管流通能力的測(cè)量,當(dāng)定壓測(cè)流的時(shí)候, 用質(zhì)量流量計(jì); 當(dāng)定流測(cè)壓時(shí), 需要用質(zhì)量流量控制器。注意, 當(dāng)質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時(shí), 也可以當(dāng)質(zhì)量流量計(jì)使用, 只不過氣壓降要比普通質(zhì)量流量計(jì)大一些。

5.  質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？ 

(1)  流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。

對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。

(2)  測(cè)量控制的自動(dòng)化

質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。

(3)  精確地定量控制流量

質(zhì)量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。

(4)  適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品最小流量范圍可達(dá)0～5 sccm，最大流量范圍可達(dá)0～200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

6. 質(zhì)量流量計(jì)的缺點(diǎn)是什么? 使用質(zhì)量流量控制器最害怕什么?

相對(duì)廉價(jià)的轉(zhuǎn)子流量計(jì)來說, 質(zhì)量流量計(jì)的主要缺點(diǎn)就是價(jià)格比較昂貴。

使用質(zhì)量流量控制器有四怕: 

第一怕粉塵, 若粉塵進(jìn)入流量計(jì)會(huì)堵塞傳感器和分流器, 造成測(cè)量誤差, 要求在進(jìn)氣口前加裝過濾器; 

第二怕液體和油污進(jìn)入MFC, 會(huì)造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流; 

第三怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)進(jìn)行干燥處理; 

第四怕在使用強(qiáng)腐蝕性、易燃易爆、有毒等危害性氣體時(shí)不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴(yán)重的損失。正確使用, 安全操作, 對(duì)每個(gè)用戶都是。

7. 質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于最低值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于最高值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí), 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。

8. 質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?

質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn): 第一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 第二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號(hào);  第三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì)超過規(guī)定的范圍(見圖4的高壓工作示意圖)。只要做到以上三點(diǎn),  MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。

9. 使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?

部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源(如用丙酮等), 氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時(shí)用戶需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通?？梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC, 這時(shí)MFC的工作壓差范圍, 也會(huì)變小。

注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí), 不能讓汽化物在MFC中結(jié)露, 結(jié)露會(huì)影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露, 可以對(duì)管路和MFC適當(dāng)加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫MFC產(chǎn)品。

10.  質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料? 

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議最好采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于氯化氫等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 有機(jī)溶劑汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡膠; 三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等——需要采用全氟橡膠。

11. 選擇產(chǎn)品和訂貨時(shí)應(yīng)當(dāng)注意什么？

這一點(diǎn)關(guān)系到用戶的切身利益，涉及的問題也比較多，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答。

(1) 注意選擇正確的品牌

一般應(yīng)當(dāng)全面衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。

(2) 注意選擇正確的量程

A. 將您需要的流量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量）。

B. 根據(jù)廠家提供的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表，將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮?dú)猓?biāo)定氣體）等價(jià)的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實(shí)際使用的氣體標(biāo)定，請(qǐng)向廠家說明。有關(guān)質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)的問題，以下還有進(jìn)一步解答。 

C. 確定所需標(biāo)準(zhǔn)量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)量程，您實(shí)際使用的流量最大值應(yīng)接低于某個(gè)標(biāo)準(zhǔn)量程值。標(biāo)準(zhǔn)量程的選取要避免過大或過小。質(zhì)量流量的誤差指標(biāo)是按滿量程值的百分比規(guī)定的，如果實(shí)際流量較小而量程值選取過大，則測(cè)量值的相對(duì)誤差較大。 

(3) 注意選擇正確的工作壓力指標(biāo)

不同的產(chǎn)品工作壓力指標(biāo)可能不同，注意選擇適合自己的產(chǎn)品。

質(zhì)量流量控制器（MFC）除最大工作壓力之外，還有另一項(xiàng)工作壓力指標(biāo)：工作壓差，即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差，選型時(shí)要注意，使用時(shí)也要注意。

(4) 注意選擇合適的精度指標(biāo)

準(zhǔn)確度﹑線性﹑重復(fù)精度是比較重要的幾項(xiàng)指標(biāo)，其中重復(fù)精度在很多應(yīng)用場(chǎng)合尤為重要。指標(biāo)不一定追求最高，應(yīng)考慮自己的實(shí)際需要。

如果對(duì)廠家給出的指標(biāo)不放心，有條件的用戶也可以自己標(biāo)定一下。標(biāo)定的方法參見下面的有關(guān)內(nèi)容。

(5) 注意選擇合適的響應(yīng)時(shí)間指標(biāo)

有的應(yīng)用系統(tǒng)對(duì)MFC的響應(yīng)時(shí)間有較高的要求，用戶應(yīng)根據(jù)自己的情況加以考慮。在考慮響應(yīng)時(shí)間指標(biāo)的同時(shí)，還應(yīng)注意其響應(yīng)過程及動(dòng)態(tài)特性。

(6) 注意對(duì)安裝位置有無要求

有的廠家的產(chǎn)品要求必須水平位置安裝。

(7) 注意使用氣體和適用范圍

MFM/MFC 對(duì)使用的環(huán)境及介質(zhì)溫度﹑氣源壓力﹑介質(zhì)（特別是使用對(duì)腐蝕性氣體）情況等均有一定適用范圍，請(qǐng)注意閱讀說明書或向廠家咨詢。

(8) 注意接頭形式

通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于高端應(yīng)用。

(9) 訂貨應(yīng)注明：

產(chǎn)品名稱、型號(hào)、流量規(guī)格、標(biāo)定氣體、使用氣體（特別是腐蝕性氣體）、接頭形式和數(shù)量。

12. 買質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器時(shí)，還需要買其它配套產(chǎn)品嗎？ 

一般需要流量顯示儀與之配套使用。流量顯示儀為MFM/MFC提供工作電源，進(jìn)行流量顯示，對(duì)MFC進(jìn)行流量設(shè)定操作。如果將MFM/MFC直接和計(jì)算機(jī)測(cè)控系統(tǒng)相連，視情況也可以不配流量顯示儀。

另外根據(jù)系統(tǒng)的需要可以選購截止閥﹑過濾器﹑干燥器﹑單向閥﹑管接頭﹑減壓器﹑背壓閥等。

13. 怎樣選擇流量顯示儀？ 

我們的流量顯示儀非常豐富，可供用戶選擇的余地很大。

我們有單通道（配接一臺(tái)MFM/MFC）和多通道（配接多臺(tái)MFM/MFC）產(chǎn)品；多通道產(chǎn)品中又有共用顯示和分別顯示之分（前者體積較小，價(jià)格稍便宜，但顯示需切換；后者體積較大，但顯示直觀）；有臺(tái)式﹑儀表式﹑和上架機(jī)箱式；有輸入輸出只能是電壓信號(hào)的，也有電壓和電流信號(hào)都行的；多數(shù)產(chǎn)品使用交流220V電源，也有產(chǎn)品可使用交流110V電源；有MFC和MFM都能配的，也有單配MFM的。

還有流量積算儀可進(jìn)行瞬時(shí)流量和累積流量的顯示。

將流量顯示儀安裝在機(jī)柜上的用戶，請(qǐng)注意安裝的開孔尺寸。

14. 怎樣選擇流量顯示單位？ 

我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位，即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據(jù)用戶的要求設(shè)定。按百分比顯示的方式，即是將 MFM / MFC 的流量測(cè)量值按其占滿量程的百分比來顯示，例如，規(guī)格為50SCCM的MFM/MFC，當(dāng)顯示值為80%時(shí)，實(shí)際的流量為40SCCM。對(duì)任何一種規(guī)格的MFM/MFC，滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好，可配不同量程的MFM/MFC，但不直觀，有的用戶不習(xí)慣。

按 SCCM或 SLM顯示，出廠時(shí)對(duì)流量顯示范圍與相應(yīng)的MFM/MFC的量程進(jìn)行匹配，使用時(shí)顯示值即是流量值，很直觀，符合習(xí)慣，為多數(shù)用戶所采用。 匹配好后，原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用，只是顯示值需要修正，見下述有關(guān)問題。

15. 一定要按實(shí)際使用氣體標(biāo)定顯示嗎？ 

不一定。按實(shí)際實(shí)際使用氣體標(biāo)定顯示，顯示的是實(shí)際氣體的流量, 比較直觀。但在很多的實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)合，只需要找到一個(gè)合適的流量參數(shù)并保證測(cè)量和控制的重復(fù)性，至于該氣體的實(shí)際質(zhì)量流量是多少，用戶并不是特別關(guān)心。在這種情況下，您直接使用廠家的標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（氮?dú)鈽?biāo)定顯示）也可以。當(dāng)然，如前面所提到的，您在選定流量規(guī)格時(shí)，需要換算一下，以選擇合適的量程。對(duì)于某些用戶，同一個(gè)產(chǎn)品有時(shí)可能會(huì)通不同的氣體，這種情況下，直接使用氮?dú)鈽?biāo)定出廠的產(chǎn)品更方便。

16. 怎樣進(jìn)行不同氣體的質(zhì)量流量換算？ 

產(chǎn)品出廠一般是按氮?dú)鈽?biāo)定﹑按氮?dú)饬髁看_定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測(cè)量不同的氣體，當(dāng)流量檢測(cè)值相同時(shí)，實(shí)際的流量值可能不同。我們?cè)谡f明書中給出了不同氣體相對(duì)于標(biāo)定氣體（氮?dú)猓┑馁|(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。

如果您使用的產(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（按氮?dú)鈽?biāo)定顯示），而需要知道實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量時(shí)，先在產(chǎn)品說明書中找到實(shí)際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測(cè)量過程中，以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量；反之，在確定所購產(chǎn)品的量程時(shí)，以實(shí)際使用氣體的最大期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù)，即是相應(yīng)的氮?dú)鈽?biāo)定產(chǎn)品的流量值。

空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮?dú)鈽?biāo)定顯示的產(chǎn)品，不必?fù)Q算。

17. 不同氣體的流量轉(zhuǎn)換系數(shù)是怎樣得出來的? 混合氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)如何計(jì)算?

氣體的流量轉(zhuǎn)換系數(shù)理論上取決于該氣體在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度和比熱, 以及氣體的分子構(gòu)成系數(shù)。常用的單組份氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)可在廠家產(chǎn)品技術(shù)說明書中查得；如果知道該氣體的密度和比熱, 也可以用下面的基本公式計(jì)算出來。 

(1)注意閱讀產(chǎn)品說明書及有關(guān)資料

(2) 注意輕拿輕放妥善保管

MFM/MFC比較精密，應(yīng)避免受到撞擊和強(qiáng)烈振動(dòng)。產(chǎn)品不用時(shí)注意放在較好的環(huán)境中妥善保管。

(3) 注意系統(tǒng)設(shè)計(jì)

用戶購買MFM/MFC后，往往要組建一個(gè)系統(tǒng)。建議在系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，不要僅僅考慮功能的實(shí)現(xiàn)，還要考慮系統(tǒng)的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易維護(hù)性﹑易擴(kuò)充性等因素。以下給出幾點(diǎn)具體建議：

A. 注意加裝過濾器，以凈化氣源，延長(zhǎng)MFM/MFC的使用壽命。

B. 對(duì)于反應(yīng)系統(tǒng)，建議在MFC的出氣端加裝單向閥，以防止異常情況下反應(yīng)物倒流損壞 MFC。

C. 對(duì)于高壓系統(tǒng)，應(yīng)在MFC的下游加裝背壓閥（或其它節(jié)流裝置）及壓力表，以便于保證MFC的工作壓差。

D. 對(duì)于硅烷這樣的遇空氣易形成結(jié)晶的氣體，應(yīng)特別注意系統(tǒng)的密閉性（檢漏時(shí)不要忽視減壓器），必要時(shí)設(shè)計(jì)吹洗旁路，隨時(shí)進(jìn)行氮?dú)獯迪椿蛘龎罕３帧?/span>

E. 對(duì)于要求比較高的氣路系統(tǒng), 注意氣路接頭盡量減少并采用VCR等接頭。對(duì)于使用有害氣體的系統(tǒng)，必須嚴(yán)格檢漏。氣路柜應(yīng)有排風(fēng)系統(tǒng), 防止對(duì)人員和設(shè)備的損傷。

F. 有高頻源的系統(tǒng)應(yīng)注意屏蔽并特別注意處理好接地問題，例如采用單點(diǎn)接地。

G. MFM/MFC的安裝位置應(yīng)易于裝卸﹑檢測(cè)﹑調(diào)零，并安全可靠。

H. 對(duì)可靠性要求極高的系統(tǒng)，應(yīng)注意冗余設(shè)計(jì)。

(4) 注意正確使用操作

對(duì)于比較復(fù)雜的系統(tǒng)或使用有害氣體的系統(tǒng)，應(yīng)當(dāng)制定完善的安全操作規(guī)程, 防止發(fā)生誤操作。

(5) 注意使用氣體與流量計(jì)的密封材料相適應(yīng)

我廠生產(chǎn)的流量計(jì)通常采用的密封材料是氟橡膠，能適合大多數(shù)氣體的使用，包括HCL這樣的強(qiáng)腐蝕性氣體。但對(duì)于氨氣，必須使用耐氨橡膠；對(duì)于有機(jī)溶劑類氣體，如丙酮、甲苯等，必須使用硅橡膠；對(duì)于使用三氯化硼、三溴化硼等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，必須使用四氟密封或金屬密封的流量計(jì)。用戶在訂貨和使用中必須特別注意。

 (6) 注意定期標(biāo)定

質(zhì)量流量計(jì)原則上應(yīng)當(dāng)定期標(biāo)定。

19. 我能不能自己改MFM/MFC的量程？改量程應(yīng)注意什么？ 

更改MFM/MFC量程需要更換分流器閥口等部件, 還要進(jìn)行量程標(biāo)定, 因此用戶不能自己更改量程。改量程一般應(yīng)在生產(chǎn)廠或指定維修站進(jìn)行。如果您覺得量程沒選好，應(yīng)與供貨商和廠家聯(lián)系。

改MFM/MFC量程時(shí), 還要注意您的流量顯示儀是否也要調(diào)整。如果流量是按百分比方式顯示的，則顯示儀不用改動(dòng)；如果流量是按SCCM或SLM顯示的，則一般需對(duì)流量顯示儀進(jìn)行調(diào)整，以適應(yīng)新的流量量程。也可以不調(diào)整流量顯示儀，只對(duì)流量顯示值乘以一個(gè)修正系數(shù)進(jìn)行修正:

修正系數(shù) = 新滿量程值 / 原滿量程值。

改流量顯示儀的問題，請(qǐng)仔細(xì)閱讀有關(guān)流量顯示儀的說明書, 如果有改量程的說明, 可自己按要求更改。若沒有說明, 請(qǐng)和廠家聯(lián)系。

20. 模擬式MFC怎樣和計(jì)算機(jī)相連接？

計(jì)算機(jī)可以直接和MFC相連，也可以通過流量顯示儀和MFC相連。

對(duì)于模擬的MFC, 一般需要在計(jì)算機(jī)上配A/D﹑D/A轉(zhuǎn)換板, 模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換用于接收流量測(cè)量值, 數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換用于給出0-5VDC流量設(shè)定信號(hào)，這種轉(zhuǎn)換板在工業(yè)控制產(chǎn)品市場(chǎng)上很容易買到；如果是MFC直接與計(jì)算機(jī)連接，需要用戶自己提供±15V電源（要求電源抗干擾能力要強(qiáng)）；將“設(shè)定”線接計(jì)算機(jī)D/A輸出；將“流量檢測(cè)”線接計(jì)算機(jī)A/D輸入端；MFC信號(hào)地與計(jì)算機(jī)信號(hào)線連結(jié)即可。 

如果MFC通過流量顯示儀與計(jì)算機(jī)連接，將流量顯示儀的“外設(shè)”線接計(jì)算機(jī)D/A輸出；將“流量檢測(cè)”線接計(jì)算機(jī)A/D輸入端；顯示儀的信號(hào)地與計(jì)算機(jī)信號(hào)線連結(jié)即可。 

當(dāng)然, 另外還需要配相應(yīng)的軟件。

22. 數(shù)字化質(zhì)量流量控制器的發(fā)展情況如何? 有些什么特點(diǎn)?

數(shù)字化質(zhì)量流量控制器起源于上世紀(jì)八十年代末期, 現(xiàn)在在國(guó)外, 有逐步普及的趨勢(shì)。在國(guó)內(nèi), 2004年中法合資的七星弗洛爾公司已有AFC系列數(shù)字化MFC/MFM批量投產(chǎn)。

數(shù)字化質(zhì)量流量控制器有兩種類型, 一種是數(shù)字模擬兼容產(chǎn)品, 一種是全數(shù)字化產(chǎn)品。數(shù)字模擬兼容類產(chǎn)品采用與模擬流量計(jì)一樣的±15V電源, 輸入輸出信號(hào)除了有模擬的+5VDC信號(hào)外, 還具有RS232/RS485串行通訊口。數(shù)字模擬兼容的MFC當(dāng)設(shè)置為模擬式時(shí), 可以直接替換模擬式MFC, 無需做其它更改。全數(shù)字化類型產(chǎn)品通常采用24VDC單電源, 沒有模擬輸入輸出信號(hào), 只有現(xiàn)場(chǎng)總線通訊信號(hào)。

數(shù)字化質(zhì)量流量控制器內(nèi)置MCU多功能微處理器, 可以對(duì)采集到的流量信號(hào)進(jìn)行數(shù)字化處理, 進(jìn)行溫度線性校正, 具有比模擬式產(chǎn)品更高的精度和線性性能。數(shù)字化的PID控制功能, 能提高穩(wěn)定性和智能化地改變響應(yīng)特性。串行通訊, 使MFC更便于進(jìn)行計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制。數(shù)字化智能化的MFC逐步替代全模擬的MFC, 這是技術(shù)發(fā)展的必然潮流。

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